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由于沒有裝備HEPA過濾器，通風柜不能有效清除微生物介質(zhì)，通風籠盒是IVC設(shè)備的關(guān)鍵所在，它要具有定的密閉性，能盒外空氣的進入，以減少可能的來歷，又要能讓潔凈空氣流暢進入，并在盒內(nèi)構(gòu)成杰出的氣流動或分散，與盒內(nèi)氣體混合并把籠盒內(nèi)的廢氣排出。

Chase），將潔凈室之循環(huán)風量與外氣空調(diào)箱之補充風量混合，經(jīng)由冷卻盤管（DryCoolingCoil）將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風扇（FanFilterUnit或FFU）帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超高性能過濾網(wǎng)（Ultra-lowpenetrationair或ULPAFilter）過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。

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可設(shè)置紫外燈預(yù)約開啟和關(guān)閉,實時顯示風機、紫外燈、過濾器累計運行時間，無塵室(CleanRoom)，也稱潔凈室，是指個具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發(fā)性氣體。

圖潔凈工作臺的工作原理圖，豎直單向流潔凈工作臺應(yīng)在個不同豎直截面上（平行于前部操作窗口所在平面）分別進行可視煙霧檢測，對于水平單向流潔凈工作臺只需在豎直截面上（平行于空氣過濾器出風面）進行可視煙霧檢測即可。